일반기술
초정밀 전기용량센서 설계 제작기술
크로스 커패시터 원리를 이용하여 1.9mm이하의 범위에서 0.1㎛의 분해능으로 비접촉 측정할 수 있는 센서이다. 측정대상물을 대향전극으로 사용하였던 기존의 개념과는 달리 크로스 커패시터 원리를 이용하였으므로 전극자체의 비대칭 및 표면의 영향이 없이 극히 얇은 고리모양의 감지영역에 의해 미소변위를 정밀하게 측정할 수 있다. 4-전극형 센서이므로 전극 표면의 오염에 영향을 받지않고, 평행 원판위에 전극을 형성하여 완전대칭이며, 측정체의 표면상태를 미세하게 분석 가능.- 원통형 및 봉형 가공물체의 진원도, 직진도 측정- 미소진동 측정- 회전체 변위, 편심도 및 회전수 측정
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
- 보유기관
- 한국표준과학연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-01-03
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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