일반기술
진공펌프 성능평가 기술
본 기술은 진공펌프의 고유 배기성능 및 특성을 정확히 측정/평가하는 기술이다. 기체유량흐름의 제어, 유량계의 hardware 및 software에 기인한 불연속적인 측정의 오차 요인을 제거하며 표준유량을 in-situ 상태에서 측정하므로 시간, 경비 면에서의 절감효과를 가져온다. 소형의 로타리펌프, 드라이펌프 등으로부터 대용량의 루츠펌프 까지 성능측정이 가능하므로 외국 펌프 회사에 의존하던 성능검사를 자립기술로 측정할 수 있다.- 저/고진공 펌프의 배기속도 및 도달진공도의 측정에 활용- Bulk 형태의 반도체 공정에 소요되는 수많은 진공펌프들의 특성 검사- 토카막, 반도체 생산라인 등의 연료주입 장치
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 계측기기
- 보유기관
- 한국표준과학연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-01-03
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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