일반기술
다중금속 산화물 박막 필름
본 기술은 레이져 절제술을 사용하여 전이 물질, 알칼리토 그리고 알칼리 금속 산화물을 포함한 4원소 금속 산화물의 박막 필름을 개발한 것이다. 본 필름은 단일 금속 산화물, 여러가지의 배합 비율 또는 금속 요소의 다양한 화학 조성을 가진 2개의 금속 산화물을 포함하기 위하여 형성될 수 있다. 본 기술은 메탈의 분자화와 석탄의 가스화할 때 촉매화된 반응에 포함된 가스와 함께 반응 메커니즘과 반응 운동성의 세부적인 연구를 위한 기질로써; 촉매 반응자의 구성요소와 촉매 지지물에 대한 코팅으로써; 광학적 코팅으로써; 반도체와 관계된 전자 물질 그리고 환경 개선 물질로써 응용된다.다양한 조성의 박막 필름의 제조. 화학적 조성의 정확한 제어와 재현. 결정성 필름의 제조 가능. 원하는 화학 조성을 가진 박막 필름
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 반도체 재료 (B63)
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-06-16
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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