일반기술

다중접점 열전대 제작 기술

본 기술은 다중영역 제어 (Multi-zone control)방식으로 구동되는 전기로의 온도측정 및 제어용 열전대를 개선하여 하나의 공통 열전대소선(common TC wire)에 여러 개의 접점을 형성시켜 열전대 소선의 소모를 반으로 줄이고 효율적으로 공정을 제어할 수 있는 기술이다. 반도체 확산로에 사용되는 3영역(three -zone) 혹은 5영역(five -zone) 전기로의 온도제어용 열전대를 다중접점 방식으로 개선하게 되면 기존 사용량의 1/2 정도로 제어가 가능하며, 또한 열전대 제조과정 중에 발생할 수 있는 불균질성 (각각의 열전대가 갖는 비반복도)을 감소시킬 수 있어 공정관리가 원할하게 된다. 온도구배 측정시 단 일회의 측정으로 온도구배에 대한 정보를 얻을 수 있고, 전량 수입되는 열전대의 수요를 감소시킴으로써 수입대체 효과를 가질 수 있다.기존 열전대 소모량의 대폭 감소시키고, 온도구배 측정시 단 일회의 측정으로 온도구배에 대한 정보를 얻을 수 있음. 전량 수입되는 열전대의 수요를 감소시킴으로써 수입대체 효과를 가질 수 있음. 온도구배에 대한 정보가 필요한 전 산업분야에 적용 가능함.- 반도체 확산로의 온도제어 및 측정용 열전대 대체- 각종 항온 유지장치의 온도구배 측정