일반기술

진동신호를 이용한 진공펌프 운전상태의 측정 및 분석장치

본 기술은 진공펌프의 운전 시 발생되는 진동 신호의 정밀 측정 및 측정된 진동신호의 시간별 진동 상태 변화를 분석하여 정량화 된 운전 상태를 종합적으로 분석하는 장치이다. 펌프의 회전부품들에 대한 차수 분석 기술을 포함시킴으로써 펌프의 운전 상태에 대한 정확한 결함 판정과 상태 해석의 정보를 제공한다. 본 장치 구성은 (1) 진동 센서 및 신호 증폭기, (2) 진동 신호 처리부 (가속도/속도 변환 부, 고/저 대역 필터 등), (3) A/D 변환 및 디지털 신호 기록부, (4) 디지털신호 처리 부, (5)결과 저장 및 표시부, (6) Notebook PC 인트페이스 부, 그리고 (7) Window에 기반을 둔 상태 탐지 및 분석 S/W로 각각 구성되어 있다.- 국내 반도체 산업에서 직면하고 있는 진공펌프의 상태진단에 대한 새로운 지평을 제공하며 생산설비의 계획 및 관리의 효율성 제공. 그리고, 국산화된 진동 측정 및 상태 진단 기술은 국외 경쟁사에 비해 획기적 투지비용 절감을 실현함. - 국내 반도체 공정의 핵심 기계요소인 진공펌프들의 운전 상태 측정 및 결함 탐지에 적용할 수 있는 산업 현장 상태 감시에 뿐 아니라, 새 진공 펌프와 수리한 진공 펌프를 납품하는 공급사들의 품질관리용 기기로 활용도 제공.