일반기술
CF4/O2/N2 혼합 기체 플라즈마에 의한 악티늄족 원소 및 산화물과 그 산화 혼합물의 효과적인 건식 에칭 공정
CF4/O2/N2 혼합 기체 플라즈마를 이용한 악티늄족 핵연료 재료의 에칭/제거./변환 신기술 공정으로 불화반응을 이용하여 대상물질과 선택적으로 반응시켜 불화물을 손쉽게 제조하거나, 오염 물질을 제거시키는 건식 공정이다.독성이 없는 기체를 사용하고 원격에서 제어가 가능한 건식 공정이므로 공정자체의 안전성이 대폭 강화되는 한편 작업자의 피폭시간과 기회도 크게 줄일 수 있는 공정이다.
기술정보
- 기술분류
- 원자력 > 기타 원자력
- 보유기관
- 한양대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-03-25
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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