일반기술
자기장을 이용한 초크랄스키 풀러 및 이를 이용한 단결정 잉곳 성장방법
커습형 마그넷을 이용하여 수직 자기장과 같은 효과를 얻는 기술로서 Pure Silicon Ingot 성장의 마진을 크게 확장시킬 수 있으며, 결정성장 수율을 향상시킬 수 있다.기존의 커습형 마그넷을 이용하여 수직 자기장 효과를 얻음으로 해서 퓨어실리콘 성장속도 향상 및 마진 향상을 할 수 있는 기술임.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 세라믹재료
- 보유기관
- 한양대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-07-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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