일반기술
Atomic Force Microscope(AFM : 원자힘 현미경) 리소그래피용 Duration Time 및 전압 조절 회로.
기존 contact-mode AFM을 이용한 nano-lithography에서 인가되는 전압의 duration time과 크기를 각각 디지털 회로와 아날로그 회로를 사용하여 사용자 임의로 조절한다.Nano-lithography 인가 전압의 임의 조절 장치와 출력 전압의 시각적 확인을 위한 디지털 표시 장치를 통하여 사용자 지향적인 발명품을 구성하였다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 산업용 전기전자
- 보유기관
- 한양대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-03-25
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.