일반기술
Non-contact Atomic Force Microscope(AFM : 원자힘 현미경) 리소그래피용 Duration Time, 전압, 위상 조절 회로
기존 non-contact-mode AFM nano- lithography에서 인가되는 전압의 duration time, 크기, 위상을 디지털 회로와 아날로그 회로를 사용하여 사용자 임의로 조절한다.Non-contact-mode AFM nano-lithography 인가 전압의 임의 조절장치와 출력전압의 시각적 확인을 위한 디지털 표시장치를 이용하여 사용자 지향적인 발명품을 구성하였다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 산업용 전기전자
- 보유기관
- 한양대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-03-25
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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