일반기술
극자외선 노광 공정용 Ru/Mo/Sr/Si 반사형 다층 박막 미러
극자외선 노광용 반사형 미러로서 Ru/Mo/Sr/Si로 이루어진 4층 구조를 다수의 박막에 적층시킴으로서 극자외선 영역의 빛에 대해 고반사율을 갖는 다층박막 미러를 제작극자외선 노광공정용 다층 미러에 있어서, 기판 위에 각각 Ru/Mo/Sr/Si의 4층 구조로 이루어진 다수층의 다층박막으로 구성되어, 극자외선 영역의 빛에 대해 고반사율을 갖는 것을 특징
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 부방식·표면처리 기술
- 보유기관
- 한양대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-04-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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