일반기술

감이온 전계효과 트랜지스터 pH 센서를 이용한 새로운 용존산소센서

본 기술은 감이온 전계효과 트랜지스터 pH 센서(이하, pH-ISFET)를 이용한 새로운 용존산소센서이다.pH-ISFET의 pH 감지게이트위에 형성된 백금이나, 금, 은 등으로된 작업전극에 용존산소의 환원 전위를 인가하면 용존산소의 농도에 비례하는 OH-이온이 발생하여 pH 가 변화하고 이 pH 변화에 의해 용존산소를 측정할 수 있다.- 마이크로 클라크형 산소센서의 위와 같은 문제점을 해결하기 위하여 소형화가 가능하면서도 양호한 신호소음율을 갖는 새로운 용존산소센서를 제공- 전류측정센서(클라크형 산소센서)와 전위차 측정센서(pH-ISFET)의 조합원리를 이용- pH-ISFET의 pH 감지 게이트 가까이에 위치한 백금등으로 된 작업전극은 용존산소를 환원시켜서 pH변화를 일으키며, pH-ISFET는 이 pH변화를 검출함으로써 용존산소의 농도를 측정- pH-ISFET는 pH 감지게이트 근처의 백금등으로 된 작업전극 사용여부에 따라 pH 센서(사용하지 않는 경우)나 용존산소센서(사용하는 경우)로서 작용할 수 있음