일반기술
질화갈륨을 이용한 고안정성 가스센서 및 제조방법
본 기술은 질화갈륨을 이용한 고안정성 가스센서 및 제조방법이다. 가스센서를 제조할 때 모재로 많이 쓰이는 산화물 반도체 대신 화합물 반도체인 질화갈륨을 사용하는 것으로, 응답 신호가 보다 안정적이고 가스 제거시에 나타나는 복귀성이 뛰어나다.- 종래의 산화물 반도체에 비하여 안정성이 월등히 뛰어남- 전도도 변화요인이 되는 환경 인자 즉, 가스 등의 원상복귀에 따른 전기 전도도 값의 복귀성이 뛰어남- 신뢰성 있는 첨단 가스센서의 구현
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-04-24
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.