일반기술
폭발성가스 검지용 후막형 반도체 가스 센서어레이 및 그 제조방법
후막형 반도체 가스 센서어레이 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 특히 단일 가스센서가 갖고 있는 다른 종류의 폭발성 가스에 대한 선택성의 결핍과 시간에 따른 신호의 변동으로 생기는 경보기나 계측기의 성능 저하 및 오동작을 제거하고, 폭발성가스(부탄, 프로판, 메탄)를 선택적으로 인식 및 정량화 하는데 사용하는 폭발성 가스 검지용 후막형 반도체 가스 센서어레이 및 그 제조방법에 관한 것이다.- 측정대상 가스의 공간적 불균일 또는 미소한 가스의 와류에 의한 센서신호의 변동 가능성 배제- 안정하고 높은 감도를 가지면서 제작상의 공정이 용이한 선택성을 갖는 폭발성가스 검지용 후막형 반도체 가스 센서어레이
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-04-24
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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