일반기술
금속과 전계를 이용한 비정질 막의 결정화 방법
본 기술은 니켈 등의 아주 얇은 금속 층을 비정질 막 전체 형성시키고 그 위의 일부분 위에 제2금속 층을 형성한 후, 전계를 인가하면서 열처리하여 비정질 실리콘을 결정화 시키는 방법에 관한 것이다. 본 기술은 유리 등의 절연기판위에 비정질 실리콘 박막을 증착한 후 얇은 금속층을 증착하고 전기장을 인가한 상태에서 열처리하여 비정질 실리콘 박막을 금속 유도 결정화 한다- 결정화된 다결정 실리콘의 결정성을 향상- 박막 트랜지스터 액정 디스플레이(TFT-LCD), 태양전지, 이미지 센서 등에 필요한 다결정 실리콘 박막으로 대체 가능- 저온에서 제작할 수 있다는 이점- 고온고상 결정화 방법에 의한 다결정 실리콘 박막의 대체도 가능
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 열처리 기술
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-04-23
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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