일반기술
가스분석용 질량분석기 설계기술
본 기술은 가스분석용 질량분석기의 hardware 부분을 설계 및 제작하는 기술이다. 가스분석용 질량분석기는 진공산업에서의 잔류가스 분석, 반도체산업에서의 공정제어 그리고 기초과학 분야에서의 연구장비로 활용되고 있다. 질량분석기의 hardware 부분은 이온원, 이온렌즈, mass filter, 그리고 이온 검출부로 구성된다. 이온원으로는 잔류가스 분석용의 open ion source와 공정제어용 closed ion source 제작 기술이 있고, mass filter로는 quadrupole 제작 기술, 그리고 이온 검출부로는 Faraday collector 및 전자증폭기에 의한 이온 검출기술을 포함한다.기술의 장점 : 개스분석용 질량분석기의 국산화 - 기초과학 시험실 - 진공산업 - 반도체 산업
기술정보
- 기술분류
- 물리학 > 기타 광학
- 보유기관
- 한국표준과학연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-04-23
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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