일반기술
오존 농축 시스템 구축
산화물 박막 제작 등에서와 같이 강력한 산화 분위기가 요구되는 환경에서는 고농도, 고순도의 오존 농축 시스템의 구축이 필수적인 부대 설비가 된다. 특히 일정 시간 동안 일정한 량으로 오존을 안정하게 공급하기 위해서는 고도의 기술과 경험을 바탕으로 한 시스템의 구축이 필요하다. 본 시스템은 연구, 개발 및 소규모의 디바이스 제작에서 요구되는 고정밀 제어가 가능한 안정된 오존 농축 시스템이다.- 묽은 오존을 농축, 성막 장치로 공급- 195 K로 냉각한 silica gel로의 오존의 선택 흡착 이용, 농축- 자체 개발한 열분해법에 의한 오존 농도 분석장치 부착- 90 mol% 이상의 고농도 오존 가스의 안정공급 실현 * 기대효과 *- 산화물 박막 및 소자 제작에 적극 활용- 오존 농축 기술 및 농도 분석 기술 획득
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 기타 화학공정
- 보유기관
- 동신대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-07-25
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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