일반기술

2D 마이크로 반사경 배열을 기본으로 하는 광학 파장 필터

1D나 2D MEMS 마이크로 반사경 배열을 광학 파장 필터로 사용할 수 있는 방법을 소개한다. 컴퓨터로 제어되는 변형 가능 표면으로부터의 회전을 기본으로 한다. 마이크로 반사경 배열이 변형 가능 표면을 제공하며, 희망 스펙트럼 반사율 프로파일은 적절한 표면 형태와 광학 파장 필터로 합성될 수 있다. 조정 반사율 프로파일을 특정 방향과 수용 각도로 생성하기 위해 본 기술은 tip-tilt 반사경의 2D 배열에서 사용된다. 스펙트럼 반사율의 진폭과 단계는 통제될 수 있다.- 작고 쉬운 통합- 최대 몇 미크론에 의한 마이크로 반사경의 이동을 제외하고는 기계적 이동이 없음.- 단수 MEMS 배열 이외에는 추가로 필요한 광학 요소(분산 요소와 같은)가 없음.- 2-D MEMS tip-tilt 배열은 이미 상업화 가능- MEMS 반사경 속도에 의해 제한된 빠른 재구성 시간- 낮은 파워 요구 - 누설 전류 외에 DC에서 파워 소모량 없음.