일반기술

액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 및 그의 제조방법

- 본 기술은 박막 트랜지스터와 저장 캐패시터를 포함하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터의 구조 및 제조공정에 관한 것임- 본 기술은 화소의 밀도 및 개구율(aperture ratio)이 증가한 액정 표시 장치를 제공함- 본 기술은 소스/드레인 전극, 유리 기판, 비정질 실리콘막, 제1게이트 절연막, 제2게이트 절연막과, 게이트 전극을 포함하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터로 구성됨- 금속들이 1/10 정도인 A1(박막의 비저항이 약 4μΩ㎝)을 게이트 라인으로 사용해서 게이트 신호 지연을 줄임- 공정에 이용되는 마스크 수를 6개 내지 9개에서 4개로 줄임- 화소의 밀도를 높일 수 있음- 고 블랙 매트릭스(black matrix)부분의 면적이 줄어들게 되어 개구율(aperture ratio)이 증가- 큰 용량을 얻을 수 있어서 더 밝은 액정 화면이 실현됨- OFF 전류를 낮게 할 수 있음- 수율이 향상되고 저가격화가 가능