일반기술

공정최적화시스템 개발-생산계획 및 스케줄링시스템 개발-제조라인시뮬레이터의 개발-지능형 실시간 진도관

공정최적화 시스템 개발 동특성치의 로버스트 설계 방법을 개발하고 patterning공정의 위치와 선폭의 전사성과 관련하여 신호인자와 잡음인자를 결정하는 방법을 제시 순서화된 범주형 데이타로 얻어지는 특성치에 대한 여러 가지 분석방법을 비교 검토하여 어떠한 경우에 어떤 방법을 채택하는 것이 적절한가를 제시 다특성치간의 상호의존성을 고려한 분석방법의 개발과 현장에서의 적용이 용이한 간편법을 제시 시뮬레이터를 이용한 IC설계 단계에서 IC의 품질을 확보하는 로버스트 설계방법의 개발 생산계획 및 스케쥴링 시스템 개발 Oxidation공정에서 작업장방문횟수를 반영한 최적운영규칙 개발 포토공정에서 마스크변경시간을 감안한 최적 스케쥴링규칙 개발 제조라인 시뮬레이터의 개발 반도체제조라인의 시뮬레이션 및 스케쥴링 관련 연구의 조사와 연구개발전략 수립 포토공정의 모델 개발In-Line장비의 운영방식, 뱃칭, 셋업순서, 작업활동규칙, 투입정책 등의 운영방식을 평가할 수 있는 시뮬레이션모델 개발 엣칭공정의 모델 개발작업전 샘플링방식, 공용장비의 운용방식, 작업자의 작업사이클, 챔버클리닝 등의 예방정비방식 등을 평가할 수 있는 시뮬레이션 모델 개발 지능형 실시간 진도관리시스템 개발 포토공정의 실시간 의사결정 시스템 개발Input Regulation Rule, Dispatching Rule, batch Size의 최적조합 규칙의 발견 -규칙의 평가를 위한 시뮬레이션프로그램 및 GUI의 개발