일반기술

흡습성 고체 전구체 기화장치

본 기술은 공기 중에 포함되어 있는 약간의 수분과도 민감하게 작용하는 흡습성 고체 전구체를 외부 공기와 차단된 상태로 기화시켜 금속 또는 세라믹 나노분말 제조용 기상반응기에 공급하는 장치 개발에 관한 것이다. 본 기술은 작업실에 수분이 없는 아르곤으로 채우고 작업실 내에 시료장입실을 설치하며 기화하는 동안 전구체의 무게를 로드셀에 의해 실시간 측정함으로써 기화속도를 알 수 있도록 하고, 전구체를 담고 있는 시료통이 로드셀에 매달린 채 시료장입실로부터 기화가 일어나는 증발관까지 공기와 완전히 차단된 상태에서 이동할 수 있도록 주름관과 주름관 이동가이드로 구성된 흡습성 고체 전구체 기화장치에 관한 것이다.- 본 기술은 흡습성 고체 전구체를 출발 물질로 하여 다양한 실험조건에서 나노분말 제조실험을 수행해야 할 필요가 있는 경우에 경제적 부담이 적음- 운반가스가 전구체 증기에 의해 포화되는 정도를 알 수 있도록 전구체를 담고 있는 시료통의 무게를 로드셀에 의해 실시간에 의해 측정하여 전구체의 기화속도를 실시간으로 알 수 있도록 하여 기화속도를 적절히 조절할 수 있