일반기술
마이크로펄스 글로우방전을 이용한 이온질화 및 다이아몬드형 탄소막 증착방법
ㅇ 마이크로펄스 글로우방전을 이용하여 피처리물의 표면에 이온질화처리 및 다이아몬드형 탄소막을 코팅하기 위한 방법ㅇ 다이아몬드형 탄소막을 증착하기 전에 마이크로펄스 글로우방전을 이용하여 피처리물의 표면을 질화처리함으로써 다이아몬드형 탄소막과 피처리물과의 밀착력 향상ㅇ 기술성/사업성 - 연속공정이라 한 챔버에서 이루어지므로 진공배기 시간 및 공정 단축 - 마이크로펄스 사용으로 대형화에 따른 장치가격 저렴 ㅇ 활용가능 분야 - 각종 공구 및 금형의 내마모 윤활 코팅 - 타펫 및 크랭크 샤프트 등의 자동차 부품류의 고경도 내식 내마모 윤활 코팅 - 티타늄 소재의 내식 내마모 고경도 표면처리 - 각종 고체윤활 부품류 및 내마모가 요구되는 곳
기술정보
- 기술분류
- 생명과학 > 기타 생명과학
- 보유기관
- 한국생산기술연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-05-16
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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