일반기술

자성유체를 이용한 마이크로 펌프 및 이 마이크로 펌프에 자성유체를 수용하는 방법

본 발명은 멤스(MEMS : Micro Electro Mechanical Systems) 기술을 이용하며 의료 응용 분야에도 적용가능한 마이크로 펌프에 관련한 것으로서, 특히 기계요소인 밸브를 대신하여 자성유체를 펌핑원으로 적용하므로써 디바이스의 제작비 절감 효과와 초소형 기계 적용시 재료의 한정성을 극복할 수 있도록 한 것이다. 특히 본 발명은 자성유체를 변형력에 의해 발생되는 동력에 의해 유체를 일정위치까지 이송시킬 수 있는 자성유체를 이용하여 기계적으로 내구성이 증대되며 기계적 밸브를 사용하지 않는 자성유체를 이용한 마이크로 펌프를 제공하는데 목적을 두고 있다. 자성유체가 자기장에 의해 형상이 변형되는 특성을 이용하여 마이크로펌프에 적용하므로서, 큰 구동력을 얻을 수 있으며, 신속한 응답, 저전압으로 구동이 가능하다는 여러 장점이 있다. 자성유체는 최근 스마트 물질로 일컬어지는 압전체와 더불어 가장 주목받는 물질중 하나이면서도 아직 마이크로 규모에서 이용한 예는 거의 없다. 따라서, 본 기술을 이용할 경우 기술적 우위확보를 통한 새로운 시장 창출에 유리할 것으로 판단된다.