일반기술
VCM을 이용한 XY 초정밀구동 스테이지 장치
o 열적, 기구적 운동에 대한 문제를 최소화하기 위한 대칭적 구조 채택하여 스테이지 개발o 판스프링과 시스템의 설계를 위한 설계기반 프로그램 제작 및 개발 o XY 스테이지의 전체 크기를 줄이기 위하여 최적설계 수행 (전체크기 : 100㎜×100 ㎜×50㎜)o 압전 구동기 소재로 구현이 힘든 2㎜이상의 행정거리 획득o 초정밀 스테이지로써 사용이 가능한 분해능(X축 ≤ 10㎚, Y축≤ 10㎚) 및 약 20∼30㎐의 높은 공진주파수많은 선진국에서도 실현을 제대로 못한 분야이고, 전 세계적으로 높은 분해능의 현미경을 필요로 하기에 본 실험실에서 자체 개발한 스테이지를 보다 뛰어난 성능을 갖도록 연구를 하고 상품화에 힘을 쏟는다면, 수출에 큰 효과를 얻을 수 있고 이 분야에서 선진국의 기술을 획득을 하여 기술적 우위에 놓이게 될 것임
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 금속재료
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-06-02
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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