일반기술

반도체 포토리소그래피용 초정밀 나노위치결정기구의 개발

개발 1단계 연구로써 단행정 초정밀 6축 위치결정 시스템의 개발, 2단계 연구는 장행정 XY 스테이지 개발, 단행정․장행정 구동부의 결합. 현재 반도체 분야의 고부가가치 산업현장에서 실제 장비 쪽에서는 많은 부분을 수입에 의존하고 있다. 본 연구를 통하여 이를 보다 유동적으로 대체할 수 있는 기술적 지식을 획득하였고, 수입시에 보다 좋은 조건으로 거래를 성사할 수 있으며, 앞으로는 수입의 대체 효과를 기대 할 수 있는 기술을 획득할 수 있을 것이라 예상된다. 전체적으로 시스템에 들어가는 자본이 크기에 국가적으로 계획을 하여 사업을 수행을 하는 것이 좋을 것이라 예상 된다o One Servo system은 장행정/초정밀 구동시 기계적 설계에 cost가 많이 들어간다. 또한, 시스템의 낮은 BW때문에 장행정/초정밀의 구동시 settling time이 느리다. o Dual Servo는 기계적 어려움을 fine actuator를 설치를 하면서 극복하나, 대신 제어에 부담을 갖는다. Settling time이 상대적으로 빠르다.(Gain Scheduling효과를 구조적으로 먼저 해결함: 원인 : 1. Thermal Noise and Guide system Deformation, 2. Guide System Alignment