일반기술
레이저 MBE장치의 개발 및 제작 기술
최첨단 연구장비인 레이저 MBE장치의 국산화 생산 및 저가보급-세라믹 인공격자 및 신소자 개발에 응용. 첨단 신소재 개발에 응용.초고진공 기술, 다중 타켓 자동교환 장치, 고진공 및 산화분위기용 초고온 히터 장치. RHEED 영상데이터 수집 및 해석, 레이저 MBE용 정밀 구동장치.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 단위기계 요소부품
- 보유기관
- 한국생산기술연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-04-07
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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