일반기술

분자 전송 리소그래피

분자 전송 리소그래피(MxL)는 반도체 제조의 병목현상이 되는 리소그래피 제거를 목표로 하는 기술과 프로세스이다. MxL 기술은 전통적인 광학 노출 기술을 순수 carrier에 덮여진 감광성 물질을 영상화 하는 데에 응용한다. MxL 기술은 광학 영상 도구의 가격을 월등히 낮추면서 3-6의 계수로 스테퍼 기술의 재료 처리량을 향상시킬 수 있다. MxL 기술은 영상 도구와 관련 있는 기술 문제들을 제거 또는 감축하면서 제조 비용과 자본금을 낮추기 위해 기존 유형/노출 도구와 결합하여 작동한다.- 저 비용 - 가공을 위해 요구되는 스테퍼/스캐너의 수를 감소시킨다. - 기존 광학 리소그래피 기술에 있는 초점 심도와 불순 조정 요구들을 감소시킨다. - 광학 리소그래피의 질을 향상시키기 위하여 스테퍼/스캐너와 함께 결합하여 작동한다. - 광학 리소그래피의 분석 능력을 향상시키기 위해 사용될 수 있다. - 리소그래피를 두개의 더 쉽고 저렴한 스텝들로 분리한다.