일반기술

비접촉 말단 표면 밀폐 가스 동력 측면 홈의 제조를 위한 기술 [Kr 1.102]

원심 분리기 펌프와 압축기에 사용되어지는 신속 절단 스틸, 경합금, 세라믹에서 얻어지는 비접촉 "드라이" 가스 밀페 고리의 작동 표면의 정밀 가스 동력 복합형 홈의 이온 에칭을 위한 기술과 파일럿 설비가 개발되었다. 파일럿 설비의 주요 요소는 정전기적 가속 시스템에 의해 산출되는 가스 배출 플라즈마에서 형성된, 비활성 가스(아르곤) 이온의 모노에너제틱 빔의 멀티-틈의 소스이다. 완성된 설비 세트는 이온 방사의 두가지 소스와 한번의 기술적 사이클에서 300mm의 직경을 가지는 4개의 고리 처리가 가능한 기술적 툴링을 통합시킨다.전통적(기계적, 화학적)기법과 비교하여 동 기술은 20미크론까지의 범위내에서 최소값의 5%의 깊이의 최대 허용 오차를 갖도록 생산된 홈의 고 정밀도에 의해 가스 층의 베어링 용적이 개선되었다. 또한, 신뢰도와 장비의 사용기간이 연장되도록 개선되었다.