일반기술

CF4 혼합물에서 크립톤의 정화를 위한 자가 제어 설비[Kr ssc-203]

동 기술은 크립톤에 의한 오염을 사전에 예방하기 위해 크립톤 정화에 사용되는 저가의 고 신뢰성, 작동이 쉬운 설비를 제작하기 위해 개발되었다. 동 기술은 특히, 긴 수명의 조명 램프 필터에 사용되고, CF4 혼합물에서 Kr-플라즈마의 효과를 증대시키기 위해 사용된다. Kr-플라즈마의 효과를 증대시키기 위한 혼합물의 흡착 작용은 300-700℃의 온도에서 칼슘 쉐이빙으로 채워진 반응기에서 이루어진다. 반응기의 작동 결과로 칼슘 카바이드와 칼슘 플로오르화물의 비 휘발성 혼합물이 발생된다. 출구에서 정화된 가스는 가느다란 정화 필터를 통과하여 흐름에 의해 반응 산출물을 포착한다.(비 칼슘 증기는 정화된 가스안에 존재한다) 동 설비는 재교체가 가능한 반응기와 함께 설치된다. 생산자가 필요하다면, 작동을 위한 반응기의 전체 세팅을 할 수 있다.개발된 설비의 사용으로 전통적인 Kr-Xe-혼합물 정류의 방법에 사용되는 복합설비와 값비싼 장비의 사용이 필요치 않게 되었으며, 가스 정화의 정도가 훨씬 높아졌다.생산자의 요구에 의해서, 정화를 위한 반응기의 전체 세팅을 다시 할 수 있다.