일반기술

금속박막온도 센서

본 온도센서는 직접온도 계측 대상물에 접촉하여 온도계측을 행하기 때문에 불순물층의 영향을 피하는 것이 가능하다. 또한 미세가공 기술에 의한 서브 마이크론급 박막센서의 제작이 가능하기 때문에 미소영역의 온도계측에도 응용이 가능하다. 측정원리는 통상의 열전대(熱電對, 2 종류의 도체를 조합해 접합점의 온도의 틀림에 따라 열기전력을 일으키도록 한 것)와 같은 원리로서 이종금속이 조합되어 있다면 온도는 반드시 측정이 가능하다. 제작은 통상 반도체 프로세스 공정에서와 같이 디바이스 제작시에 본센서를 동시에 조립하는 것이 가능하다.본 기술은 기존에 제작이 불가능하다고 여겨졌던 서브 마이크론급의 미세영역에 대한 실온계측을 가능케 하는 센서의 제작이 가능해졌다는 것이 다. 제작에는 반도체 프로세스를 이용하기 때문에 디바이스 제작시에 본 센서를 동시에 조합한 제작이 가능하다. 측정원리는 열전대와 같으며 온도정보의 출력은 전압의 신호로서 수집되며 비교적 출력데이터도 간단히 얻을 수 있다.