일반기술

생체의 감각모를 이용한 유속센서

생체(특히 곤충)중 특히 감각모를 이용하여 극미한 기류에도 반응하는 유속센서를 개발하였다. 이 센서는 수 10㎛에서 수 nm 까지 다양한 길이를 가진 다수의 모상구조체(감각모)와 각각의 감각모를 지지하는 지지부분, 측정게이지, 그리고 지지부를 고정하는 기반으로 구성되어 있다. 유체가 감각모에 부딪치면 감각모가 경사를 갖게 되고 지지부가 변형되어 그 변형량을 측정하는 측정게이지에 검출되도록 하는 구조를 가지고 있다. 이러한 유속센서는 반도체 가공기술을 적용하여 제작이 가능하다.유속계측에 사용되는 열선유속계는 직경 수 미크론의 미세한 텅스텐이나 백금으로 만든 금속선을 전류가공하여 유속이 클경우 냉각효과가 큰 것을 이용하여 금속선의 저항변화로부터 유속을 계측하는 센서이다. 그러나 일반적으로 저유속(예를 들면 1m/sec)이 되면 열선유속계는 그 자체의 발열로 인하여 유속을 측정하는데 문제를 일으키기도 한다. 본 센서는 다른 유속계로는 검출이 곤란한 극미한 유속을 정확하게 측정할 수 있는 장점을 가지고 있다. 또한 감각모와 유체를 조합한 기계량 센서는 곤충의 기류센서 이외에도 어류의 측선 등을 이용하여 본 센서를 제작 할 수 있다.