일반기술
고성능 백열 방출 전자 총[Kr ssc-121]
냉 음극을 가지는 고성능 백열 방출 전자 총이 개발되었다. 작동 원리는 고 전압 백열 방출을 사용하는 것을 기초로 한다. 고성능 백열 방출 전자 총은 진공과 활동적 매체에서 다른 물질의 용해, 증발, 변형을 위해 적용되는 전자-빔 설비를 위해 개발되었다. 방출 공간내 30-80 mTorr의 압력과 프로세싱 챔버내 20 mTorr까지의 압력에서 사용되며 큰 효율성을 가진다.전자 총은 디자인의 심플성, 상대적으로 낮은 원가, 작동의 신뢰성, 연속적 작업에서의 긴 작동기간 등의 특징을 가진다. 전자 총은 열이온 총을 대신하여 적용될 수 있으며, 전자-빔의 제작과 작동 원가를 상당히 감소시키고, 그 효율성은 더욱 개선시켰다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 전자부품
- 보유기관
- 티알씨코리아
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-06-26
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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