일반기술

도파관 진공기를 이용한 근접장 현미경

본 기술은 도파관 진공기를 이용한 근접장 현미경에 관한 것으로 기존의 기술보다 사용 가능한 주파수 대역이 확장되고, 감도와 분해능이 향상되었다. 본 기술은 웨이브의 주파수를 조절할 수 있는 웨이브 소스, 상기 웨이브 소스로부터 출사된 웨이브가 진행되는 도파관 공진기, 상기 도파관월의 외벽을 관통하여 삽입되어 도파관을 통해 진행하는 웨이브가 샘플과 상호작용하도록 하는 탐침, 상기 탐침을 통해 전파되어 샘플과 상호작용한 후 상기 탐침과 도파관을 통해 진행된 웨이브를 검출하는 검출기로 구성되어 있다.본 기술은 도파관 공진기에 결합된 탐침을 이용하여 마이크로웨이브 대역에서부터 밀월리미터웨이브 대역까지 사용할 수 있으며, 부피를 최소화할 수 있고, 감도월과 분해능을 향상시킬 수 있다. 또한, 도파관 공진기에 결합된 탐침을 통해 전달된 웨이브와 샘플 사이의 월 상호작용에 의해 입력저항과 공진주파수가 변하는 것을 측정함으로써 샘플월의 광학적 특성을 알아낼 수 있다.