일반기술

고안정 전기용량형 차압 및 진공센서 설계제작기술

기존의 전기용량형 차압 또는 진공센서는 양쪽의 고정 전극 사이에 설치된 금속 다이아프램(진동판)을 금속 케이스에 직접 용접 및 지지하여 이 진동판과 두 고정전극 사이에서 발생되는 전기용량 차이에 의해 차압 또는 진공도를 측정하고 있다. 즉 금속 케이스가 하나의 전극 역할을 하는 2-단자형 전기용량기를 형성하게 된다. 따라서 센서 주변의 전자기 잡음 또는 주변조건 영향에 의해 안정된 전기용량 측정이 극히 어렵다. 본 기술은 Thompson-Lampard 정전기 원리를 적용시킨 고정전극을 사용함으로서 진동판의 재질 및 전위에 관계없이 안정된 전기용량 측정이 가능하기 때문에 상기의 문제점이 완전히 제거된 상태에서 차압 또는 진공을 정밀하게 측정할 수 있는 기술이다. 진동판의 재질 또는 전위에 무관하고, 센서구조물이 접지전위를 지닌 금속 케이스 내부에 설치되기 때문에 주변의 전자기 잡음 또는 조건에 영향이 없이 차압 또는 진공을 정확하게 측정할 수 있다. 기술의 장점 : 진동판의 재질 또는 전위에 무관하고, 센서구조물이 접지전위를 지닌 금속 케이스 내부에 설치되기 때문에 주변의 전자기 잡음 또는 조건에 영향이 없이 차압 또는 진공을 정확하게 측정할 수 있다.-정밀측정용 차압 및 진공센서 제작에 활용