일반기술

레이저를 이용한 초미세 위치제어기술

초정밀 가공기술과 센서응용기술, 정밀 측정기술, laser 간섭계적용기술등이 복합적으로 요구되는 분야로써 복합적인 여러분야의 기술이 필수적이다. 이러한 고정도의 위치 및 자세 결정 기술은 차세대 초고밀도 집접회로(ULSI:Ultra Large Scale Integrated Circuit) 제조 장치의 일부인 반도체 노광장비 및 웨이터 검사장비 등의 반도체 분야를 포함하여 초정밀 측정기, 초정밀 가공기 제작 분야에 직접적으로 적용될 수 있는 기술이다.조동이송기구로 나사와 더블너트로 구성된 이송나사기구(Lead Screw)를, 미동이송기구로 탄성힌지를 이용하여 구성하고 각각의 구동기(Actuator)로는 조동은 AC서보모터를 미동은 압전소자를 이용한다. 가동범위가 다른 두 종류의 엑츄에이터를 이용하기 위해 연동제어방식을 채택, 고속, 대 스트로크 동작이 실시되는 도중에 미세운동기구의 위치결정동작을 실시한다.