일반기술
전면전극을 구비한 평판표시장치 및 그의 제조방법
하나의 층상에서 2개의 신호선이 서로 전기적으로 분리되도록 형성되어야 하므로, 공정중 발생된 도전성 파티클에 의해서로 인접하게 배열되는 데이터 라인과 전원공급선간에 인라인 쇼트가 발생하여 라인결함이 발생되는 문제점이 있었다. 또한 공통전압을 인가하는 위치에 따라 전압강하가 발생하여 전압 불균일이 발생하고, 전압강하가 발생하는 문제점이 있었다.공통전원공급선을 전면극으로 형성하여 인라인 쇼트 및 전압강하현상을 방지할 수 있는 이점이 있다. 또한, 공통전원선을 전면극으로 형성할 때 공통전원선과 소오스/드레인 전극과 캐패시터를 연결하기 위한 콘택홀을 소오스/드레인 콘택홀을 형성할 때 동시에 형성하여 줌으로써 추가의 마스크공정이 요구되지 않는다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 전자부품
- 보유기관
- 조선대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-07-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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