일반기술

압전구동장치

- 본 기술은 제품의 구동에 따라 다양한 틸팅각도로 변환되는 경사면이 형성된 안내부를 구비한 압전구동장치에 관한 것임- 외부로부터 기계적 변형을 가하면 전위차에 의해 변위되는 피에조의 압전현상을 이용한 피에조 액츄에이터(Piezo Actuator)는 다양한 형태의 구동원리를 이용하여 고정밀 위치제어에 사용되고 있으며, 피에조를 적층하여 구성한 스택 압전 구동장치(Stack Type Piezoelectric Actuator)는 구동력이 뛰어나 주로 광업픽 장치, 기계적 필터, 정밀 스테이지, 광학 계측기, 반도체 생산공정 장치 등과 같은 고정밀 위치제어가 필요한 기계장치에 이용됨- 본 기술의 압전구동장치는 베이스 플레이트, 적층형 피에조, 압전구동기, 회전판, 회전판 지지부, 인장스프링, 안내부, 피봇조인트부로 구성되며, 제품의 부피 및 크기에 관계없이 다양한 틸팅각도를 구할 수 있음- 제품의 구동에 따라 틸팅(Tilting)각도를 다양하게 변환하는 경사면이 형성된 안내부를 구비- 제품의 부피 및 크기에 관계없이 위치제어가 가능- 제품의 고정밀 위치제어를 향상- 제품의 안정성 및 신뢰성을 향상