일반기술
금속이온을 포함하는 플라즈마를 이용한 금속박막 형성방법
금속이온을 포함하는 플라즈마를 이용한 금속박막 형성방법에 관한 것으로써, 종래와 같이 접착력의 개선을 위한 별도의 전처리 공정을 행하지 않고도 단 한번의 스텝(step)으로 접착력이 개선된 금속박막을 형성시킬 수 있다.금속이온이 포함된 플라즈마에 기판을 노출시키되, 상기 기판에 수∼수십 kV대의 음의 고전압을 인가함으로써 상기 기판 표면에 금속이온주입에 따른 동적 이온선 혼합 효과에 의한 계면 혼합층을 형성시킨 후 금속박막을 증착시키는 것을 특징으로 한다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 박막 제조 기술 (B62, H64)
- 보유기관
- 수도권공공기술이전컨소시엄
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-07-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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