일반기술

도함수 영상을 이용한 광학 결함 검사방법 및 그 검사장치

물체의 도함수 영상을 입력받아 비접촉방식으로 결함의 정도를 측정할수 있도록 한 도함수 영상ㅇ르 이용한 광학 결함 검사방법 및 그 검사장치에 관한 것으로 검사대상 물체에 레이저 광을 조사히기 위한 레이저와 레이저 광이 검사대상 물체에 조사됨에 따라 그조사면으로부터 산란된 채 반사되어진 광을 수광하기 위한 영상결상렌즈와 수광된 광을 분할하는 한편 광로를 변경하기 위한 영상분할장치와 분할된 일부의 광을 영상분할장치측으로 반사하기 위한거울과 거울을 통하여 반사되어진 분할광에 포함된 검사대상 물체의 영상정보를 획득하기 위한 영상입력장치와 영상분할장치에서 분할된 나머직 광이 영상입력장치에 기 맺혀진 영상과 그 중심점이 소정거리 비껴 맺히도록 광로를 소정각 조절하는 한편 다시 영상분할장치를 거쳐 영상입력장치에 입사되도록 반사하기 위한 반사작조절거울과 영상입력장치로부터 획득된 검사대상 물체의 변형전 변형 후의 영상 중 일측 영상에서 타측 영상을 뺀 다음 이를 적분처리 하여 측정자가 판독할수 있도록 2차원 형태의 영상으로 모니터상에 디스플레이하는 영상처리 및 측정부 제어장치가 구비된다도함수 영상을 이용한 광학 결함 검사방법 및 그 검사장치에 관한 것으로 더욱 상세하게는 물체의 도함수 영상을 이용하여 비접촉방식으로 결함의 정도를 검사할 수 있도록 한 도함수 영상을 이용한 광학 결함 검사방법 및 그 검사 장치에 관한 것