일반기술

광센서를 이용한 위치결정장치를 구비한 병렬형 회전 및 병진운동 테이블

- 본 기술은 광센서를 이용한 위치결정장치를 구비한 병렬형 회전 및 병진운동 테이블에 관한 것임- 현대 전자산업의 고속발전으로 고성능, 고집적, 단소화한 제품들이 다량으로 개발 생산되고 있으며, 이러한 제품들의 생산과정에는 기본적으로 부품의 조립 및 성능시험을 위한 고정밀도의 위치결정장치가 필요하게 됨- 본 기술은 수광회로부는 상기 PSD 광센서에서 출력되는 미약한 전류신호를 증폭하는 증폭부와, 전류신호로 입사위치를 구하는 연산부로 구성되어 있고, 연산부에서 나온 신호는 직접 대응 회로에 입력되거나 A/D변환기를 거쳐 마이컴이나 컴퓨터에 입력됨-병렬형 회전 및 병진운동 테이블은 PSD 광센서를 이용함에 의해, 고가의 LVDT을 사용하지 않고도 엑추에이터의 오차를 측정함과 동시에 수렴하거나 초기화 작업에서 홈 포지션작업을 수행할 수 있음-광센서는 비접촉식이므로 마모로 인한 측정오차가 생김을 방지할 수 있어 외부의 영향을 거의 받지 않음-외형의 크기가 작아 테이블안으로의 배치가 가능하여 테이블을 소형화 할 수 있음