일반기술
CMP slurry 공급 장치
CMP slurry 공급 장치는 원액 유니트와 조제ㆍ순환 유니트로 구성되어 있다. 원액 유니트로부터 공급된 농축 slurry를 조제ㆍ순환 유니트에서 소정 농도의 초순수한 물로 희석ㆍ조제해 CMP 장치에 공급한다.①모든 장치는, 크리룸무내에서 고도의 크린도 관리․품질 관리의 아래에서 제작하고 있다. ②slurry 공급 유니트의 제작으로부터 현지 배관, 배선, 세정, 시운전 조정까지, 일관한 시공 체제로, 높은 안정성과 고품질인 시스템이 되고 있다. ③slurry 조제 정밀도는, 로드 셀 방식의 채용에 의해,±1%이내를 실현하고 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전자제품
- 보유기관
- 한국생산기술연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-07-23
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.