일반기술
범용 나노 스테이지의 구동장치 및 그 방법
- 본 기술은 범용 나노 스테이지의 구동장치 및 방법에 관한 것임- 본 기술은 스테이지를 공간상에서 부상시킬 수 있게 구성하여 스테이지의 초정밀 구동을 가능하도록 함- 본 기술은 스테이지의 구동시 발생되는 위치 오차를 미연에 방지하여 제품의 신뢰성 및 안정성을 향상시키고, 또한,이러한 제품은 청정도 및 기계적인 접촉의 배제를 요구하는 반도체 제조 공정 및 박막 표시 장치의 노광 공정상에 적용함- 자기 흡인력을 이용하여 스테이지를 공간상에 부상시킴- 스테이지의 기계적인 마찰과 같은 비선형성을 배제- 초정밀 구동이 가능하며, 스테이지의 구동에 따른 스테이지의 자세각 보정을 위해 별도의 지그가 필요없음- 제품의 제작비용이 절감 및 제작이 용이- 자석과 솔레노이드의 다양한 배열형태가 가능하여 스테이지의 평면 운동 및 6자유도 운동을 할 수 있음
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 제어·자동화
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-07-23
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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