일반기술

서피스 모터 및 그의 6자유도 정밀 운동 시스템

- 본 기술은 평면 포지셔닝 시스템의 비접촉식 서피스 모터에 관한 것임- 본 기술은 공심 솔레노이드와 영구자석간의 상호 작용 및 영구자석이 만드는 자기장안에 놓여있는 코일에 작용하는 구동력을 이용하여 공간상에서 자기 부상되어 고정부와 일정한 자세를 유지하면서 평면 운동을 만들어냄- 본 기술에서의 서피스 모터는, 서로 직교하는 방향으로 코일이 감겨있는 세가지 형태의 전자석이 하우징의 고정단 위에 바둑판 모양으로 배치되어 설치되고, 코일과 상호 작용하는 영구자석이 모두 동일한 자기 방향을 갖고 상판에 설치되어 가동부를 이루도록 구성하여 가동부가 하우징 위에서 자기적으로 부상되어 구동됨- 본 기술의 6자유도 정밀 운동 시스템은, 가동부와 하단의 하우징을 동일한 크기로 하고, 하우징 위에 설치된 구동 코일에서 평면의 법선 방향 운동을 만드는 구동 코일이 하우징의 네 개의 모서리에 설치되고, 평면 운동을 위한 코일들은 서로 엇갈리게 설치되며, 하우징 위에 설치된 구동 코일에서 법선 운동을 위한 구동 코일이 하우징에서 십자 모양으로 설치되고, 평면 운동을 위한 코일들은 서로 대각선으로 설치됨- 다자유도 메커니즘 개발시 나타나는 구조의 복잡함을 가동부의 부상에 의해 해결하여 다자유도 메커니즘 구조의 단순화가 가능함- 청결한 환경을 요하는 곳에서의 작업에 적합- 고정밀도를 유지하면서 넓은 작업 영역으로의 확장이 가능- 구동원의 모델링 오차를 줄일 수 있음- 제어 시 발생하는 여러 가지 오차의 발생을 미연에 방지하면서 고분해능 구현이 가능한 효과가 있음- 전력 손실을 최소화 할 수 있는 효과가 있다