일반기술
바륨 또는 스트론튬 착체
본 발명은 Ba 또는Sr 착체에 관한 것으로, 구체적으로는 단량체로 존재하며 기화특성이 우수하여 유기금속 화학증착법에 의한 박막 제조시 전구체로서 적합한Ba 및 Sr 착체에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 단량체로 존재하며 기화특성이 우수하여 유기금속 화학증착법에 의한 박막 제조시 전구체로서 적합하게 사용되는 Ba 및 Sr 착체를 제공하는 것이다본 발명에 따른 Ba 또는 Sr 유기금속 착체는 단량체로 존재가능하고 기화특성이 우수하여, DRAM용 캐패시터에 사용되는 BST 박막이나 FRAM에 응용되는 Ba 또는 Sr 함유 산화막의 제조를 위해 유기금속 화학증착용 전구체로서 유용하게 사용될 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 기타 정밀화학물질 기술
- 보유기관
- 부산기술이전센터
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-07-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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