일반기술
압전 액츄에이터를 가지는 이송장치를 이용한 극미세 이송시스템
90년대 이후 급속도로 발전하고 있는 반도체 가공기술, 광전학 및 능동광학, 정보통신 및 유전자공학의 발달로 초정밀 계측과 초정밀 가공의 필요성이 강조되고 있다. 이러한 응용분야에서는 아주 미세한 에러도 상품의 질과 수명에 매우 큰 손실을 초래한다. 본 시스템은 압전 액츄에이터를 이용하여 nm단위의 초정밀 위치 결정능력을 향상시키고 외란 및 잔류진동을 능동적으로 감쇠시켜 탁월한 초정밀 위치 결정 능력을 갖는 이송시스템이다.기존의 볼스크류 이송시스템과 압전 액츄에이터를 이용한 초정밀 구동을 혼합한 시스템으로 볼스크류에서 발생되는 백래쉬 및 스틱슬립을 효과적으로 보상하며 장치내에서 발생되는 잔류진동 및 외부의 외란을 능동적으로 감쇠시키기 위하여 Dual-Mode Control을 도입하였다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 단위기계 요소부품
- 보유기관
- (재)광주테크노파크
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-07-14
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.