일반기술

TEM/CBED를 이용한 IC 제작지원 패키지

STREAM(Stress Minimisation and Application to Memories)라는 프로젝트로, 투과 전자현미경의 수렴성 전자 빔 회절기술(TEM/CBED)를 이용하여, IC 생산과정에서 발생 가능한 오류를 최소화하는 IC 제작지원 기술이다. `CBED pattern-to-strain value` 루틴을 통해 변형측정 실험시간을 단축하고, 보다 신속하고 정확한 결과를 얻도록 하며, 변형분석을 위한 TEM/CBED의 사용은 이탈발생에서 기인하는 오류를 피하여 공정의 최적화를 꾀할 수 있다.IC 제작지원 소프트웨어 패키지는 변형이나 텐서(tensor)의 측정 등 수 일을 요구하는 실험을 수 시간 만에 값을 얻을 수 있으며, TEM/CBED을 이용한 정확한 분석을 통해 변형이나 dislocation(이탈)으로 인한 오류를 줄임으로써, 경제적 이득뿐만 아니라 불량품생산으로 인한 환경오염도 줄일 수 있다.