일반기술

진공게이지 비교교정장치 설계 및 제작

본 기술은 단일 진공시스템에서 저진공 (1 Pa∼105 Pa) 영역의 열전도형 게이지와 고진공 (10-3 Pa∼1 Pa) 영역의 이온게이지의 비교교정 장치의 설계 및 제작기술이다. 열전도형 게이지 교정에는 전달표준기로 불확도가 ±0.1 % 이내인 용량형 게이지 (capacitance diaphragm gauge, CDG)가 사용되고 이온게이지 교정에는 불확도가 ±2.0 % 이내인 점성진공계 (spinning rotor gauge, SRG)와 불확도가 ±5 %인 열음극 이온게이지가 사용된다. - 단일 진공시스템에서 저진공부터 고진공 영역의 진공게이지를 간편하고 정확하게 비교교정이 가능함.- 진공장치의 설계를 수요자의 요구에 따라 쉽게 바꿀 수 있고, 동시에 많은 센서의 교정이 가능함.- 수요자의 요구에 따라 설계가 가능하므로 수입한 장치에 비해 값이 저렴 하고 사용이 간편함.- 저진공 영역의 열전도형 진공게이지 비교교정- 고진공 영역의 이온게이지 비교교정