일반기술

다단형 진공용기의 부피율 측정

본 기술은 부피가 다른 5단으로 구성된 각각 진공용기의 부피율 (volume ratio)를 측정하는 기술이다. 각 용기에는 정확하게 교정된 진공게이지와 배기용 진공펌프가 부착되어 있다. 모든 용기를 진공펌프로 충분히 배기한 후 1단 용기에 가스를 채운다. 이때 압력을 정확하게 읽고 이 가스를 2단부터 5단 용기까지 차례로 팽창시키면서 각 용기의 압력을 측정한다. 이렇게 가스를 팽창시키면서 압력을 측정하면 1단 용기의 부피와 다른 용기들과의 부피율을 계산할 수 있으므로 부피가 작은 1단 용기의 부피를 정확하게 알면 부피가 상대적으로 커서 측정이 곤란한 다른 용기의 부피를 쉽게 계산할 수 있다. 이 방법에 의한 부피율은 사용된 진공게이지의 정확도에 좌우되지만 불확도 ±0.5 % 이내까지 측정이 가능하다.- 대형이나 소형 진공용기들의 상호 부피율 및 부피를 in-situ 상태에서 측정이나 계산이 가능하므로 시스템에서 분리하여 용기의 부피를 측정할 필요가 없다- 직접 측정하기 곤란한 대형 진공용기의 부피율측정 및 부피계산- 다단형 진공용기들의 상호 부피율 측정