일반기술

씨엠피 장치용 리테이너 링

결합이 용이한 씨엠피(Chemical Mechnical Polishing, CMP) 장치용 리테이너 링(retainer ring)에 관한 것으로, 리테이너링을 구성하는 연결링과 연마링의 결합을 신속 및 용이하게 하여, 리테이너링 자체의 생산성을 높이고, 공정 진행시 리테이너링의 마모에 따른 주기적인 교체를 보다 간편하할수 있다. 또한 헤드에 장착하여 공정 진행중인 기존의 접착제에 의한 방법에 비하여 리테이너링 및 웨이퍼의 이탈가능성이 낮도록 하여 씨엠피 공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 씨엠피 장치용 리테이너 링을 제공하기 위한 것이다. 본 기술의 특징은 결합이 용이한 씨엠피 장치용 리테이너링의 연마헤드롤을 가지는 씨엠피(CMP) 공정장치에 사용되는 리테이너 링을 말한다. 이것은 상면, 하면 및 측면을 가지며, 연마헤드에 장착되어 하면의 다수의 결합돌기를 가진다. 여기에서 결합돌기는 말단으로 갈수록 커지는 소정 각도의 테이퍼 형상을 갖는 연결링 과 상면, 하면 및 측면을 가진다. 또한 연결링의 하면과 상면이 밀착되도록 하는 다수의 결합홈을 상면에 가지며, 여기서 결합홈은 측벽의 일부가 결합돌기의 측벽과 거의 동일한 각도의 테이퍼 형상을 가지는 연마링을 포함하는것을 말한다.