일반기술

Millimeter-wave MEMS 스위치

MEMS (Micro-electronmechanical system) 기술은 무선통신 시스템에서의 반도체 칩 밖(off-chip) passives를 대체하기 위한 고성능의 RF(Radio frequency)-MEMS passives 차세대 기술이라 할 수 있으며, 특히 고주파수의 반도체 회로 (radio frequency(RF) microwave, millimeter wave)등에 많이 적용되어 사용되어 진다. 기존의 Si process를 이용하여 MEMS를 설계 및 제작하기 위한 기반 기술로서 -40℃~+125℃ 환경에서 작동하는 우수한 신뢰성 기술을 제공한다.특히 Car radar system에 필수적인 요소인 Beamforming 기술을 이용하기 위한 RF - MEMS switch기술이다. RF MEMS가 흔히 갖히 쉬운 신뢰성 문제를 우수하게 해결하여, car radar system이나 기타 무선, 자동차, 우주 항공분야 등에도 응용되어 사용되는 기술이다. 기계적, 열적 특성이 상당히 우수하며 flip-chip 기술과 MCM-L package 방법을 사용한다.