일반기술
초진공 상태용 초정밀 메카트로닉 구동 기구
다양한 환경 (예: 초진공 상태 UHV, Ultrahighvacuum) 에서도 정확하게 작동하는 초정밀 메카트로닉 구동장치로서 기존의 기계적인 구동장치로는 재료/설계상의 어려움으로 인해 그런 극한 환경에서 정확한 위치 정밀도를 구현할 수 없는 문제를 해결. 적용예: 초진공 상태에서의 재료 마모 검사 장비 구현. 화상처리 시스템과 연동하여 생물/의료분야 실험에서도 성공적 결과. 저마모. 극한 환경에서도 위치 정밀도 유지. 마이크로 전자부품 제작, 반도체 제작, MEMS 제작, 분자 생물학 분야, 항공 우주 산업 분야 등과 연계하여 다양한 응용 가능 분야에 적용할 시스템을 구축하기위한 기술 협력 희망.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 단위기계 요소부품
- 보유기관
- 한국과학기술연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-08-19
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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